1、MEMS傳感器：加速度傳感器、陀螺儀傳感器、壓力傳感器、慣性組合傳感器、聲學傳感器、氣體傳感器、溫度傳感器、溫度傳感器、光學傳感器、MEMS射頻器件、微型熱輻射傳感器、磁傳感器。
2、MEMS執行器：DMD數字微鏡器件、噴墨打印頭、生物芯片、射頻MEMS、微結構、微型揚聲器、超聲波指紋識別等。

GB/T 38341-2019  微機電系統（MEMS）技術 MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法
GB/T 26111 微機電系統（MEMS）技術 術語
GB 2423.1電工電子產品基本環境試驗規程 試驗A：低溫試驗方法
GB 2423.2電工電子產品基本環境試驗規程 試驗B：高溫試驗方法
GB 2423.3電工電子產品基本環境試驗規程 試驗Ca：恒定濕熱試驗方法
GB 2423.5電工電子產品基本環境規程 試驗Ea：沖擊試驗方法
GB 2423.6電工電子產品基本環境試驗規程 試驗Eb：碰撞試驗方法
GB 2423.10電工電子產品基本環境試驗規程 試驗Fc：振動（正弦）試驗方法

MEMS器件高溫貯存試驗可在器件不帶電工作的情況下確定MEMS器件在高溫下較長時間貯存的可靠性，試驗對象為貯存期間可能處于較高溫度環境的器件。
健明迪檢測可靠性實驗中心具備各種MEMS器件的可靠性綜合環境試驗能力，為MEMS器件提供專業的高溫貯存試驗等服務。

1、應對溫控試驗箱的結構、負載、監測位置和氣流進行必要的設計和調整，從而保障監測到的溫度達到要求。在規定時間內將處于不帶電工作狀態的待測器件放置于規定的溫度環境中，試驗計時開始前保留足夠的升溫時間，以保證所有待測樣品溫度盡量均勻。
2、若無其他規定，試驗時間應不小于72 h。宜采用最低試驗溫度為±105℃。
3、試驗前將待測器件取出，自然散熱2 h~48 h至室溫，最長應不超過96 h，然后在標準試驗條件中進行測試。